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Kathodenzerstäubung  

Ka|tho|den|zer|stäu|bung, fachspr. auch Katoden... die; -, -en: Bildung feinster Metallschichten auf der ↑ Anode durch Zerstäuben des Kathodenmaterials im Hochvakuum
Kathodenzerstäubung  

n.
<f. 20> Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Kathode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird
[Ka'tho·den·zer·stäu·bung]
[Kathodenzerstäubungen]